ニッケル-チタン合金ターゲット材料

ニッケル-チタン合金ターゲット材料: インテリジェント材料の「記憶コア」であり、フレキシブルエレクトロニクスと低侵襲医療の革命を推進します. 1. 製品の本質: 正確な比率が「記憶」精度を決定します
製品モデル: NiTi-T3053
主要な仕様:
原子比: Ni : Ti=51 : 49 (at%)
材料純度: 99.9%
ターゲットサイズ：φ76.2×3mm（標準3インチ）
作製工程：真空溶解＋精密加工

アプリケーション エコシステムのパノラマ: ミクロン-レベルのデバイスからマクロ システムまで

1. マイクロ-電気-機械システム (MEMS) とマイクロ ロボット
マイクロ アクチュエーター: NiTi フィルム マイクロ アクチュエーターをチップ上に統合し、マイクロ バルブ、マイクロ ポンプ、マイクロ クランプの正確な駆動を実現します。研究機関は、1V駆動で100μN以上のクランプ力を発生できるNiTi膜マイクロクランプを開発し、細胞操作への応用に成功した。
マイクロ センサー: 相転移中の抵抗変化を利用して、自己検知温度センサーと応力センサーを製造します。{0}精度は±0.1度に達します。
2. 生物医学的かつ低侵襲的介入
血管ステント: 自己拡張型 NiTi ステントは体温でエレガントに拡張し、血管をサポートします。{0}世界中で 200 万件以上の介入手術が NiTi 装置を使用しています。
整形外科用インプラント: 脊椎矯正装置、骨プレートなどは、体温で継続的な矯正力を生成し、骨の治癒を促進します。
外科用ロボットのエンドエフェクタ-: 準拠した正確なフォース フィードバックとモーション コントロールを提供します。
3. 航空宇宙および精密工学
衛星アンテナ展開機構：宇宙の温度差に自動的に展開する大型アンテナを複数のリモートセンシング衛星に適用することに成功しました。
航空機パイプライン コネクタ: 低温組み立て、常温締め付けパイプ ジョイント-は、従来の方法よりも優れたシール性能を備え、複数の種類の航空機の油圧システムで使用されています。
インテリジェント ダンピング システム: 高いダンピング特性を利用して、精密機器に適応ダンピングを提供します。
4. 家庭用電化製品とスマートウェアラブル
携帯電話カメラの手ぶれ補正：Micro NiTi アクチュエーターがレンズの迅速かつ正確な変位を実現し、手ぶれ補正性能が 3 倍向上しました。
変形可能な電子デバイス: 折りたたみ可能なスクリーン携帯電話およびロール可能なスクリーン デバイス向けに、信頼性の高いヒンジおよび変形メカニズムのソリューションを提供します。
スマート テキスタイル: NiTi フィラメントを生地に織り込み、温度制御された変形可能な衣類を実現します。{0}}

プロセスガイド: 「メモリ」の可能性を解き放つ鍵
膜スパッタリングプロセスのフレームワーク:
[高真空準備 < 5×10⁻⁴ Pa] → [ターゲット-スパッタリング前クリーニング、10-15 分] → [DC/RF スパッタリング、電力密度 2-5 W/cm²] → [基板温度制御: 室温〜400 度] → [堆積速度: 5-20 nm/min] → [凝集後]処理：400～600度、30～60分】